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LDW-D1

一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
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1.產品描述

 

       一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。

 

2.產品特點

 

   •  網格精度:200nm

 

   •  最小線寬:700nm

 

   •  基本尺寸:12inch(可拓展)

 

   •  曝邊:選配

 

   •  智能化:自動打碼、讀碼、對接MES系統

 

   •  支持格式:GDSII/ODB++/Gerber

 

3.技術規格

 

 

設備型號 LDW-D1
支持基板尺寸[inch]
300x300
最小線寬[nm]
700
套刻精度[3σ,nm]
400
產能[ mm² /min] 3000
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